高純度氣體(High purity gas)

高純度氣體

蝕刻氣體

C4F6, CF4, CHF3, CH2F2, C2F6, C3F8, C4F8, CH3F, SF6, BCl3, Cl2, HBr, HCl, etc.

清洗用氣體

NF3, C3F8, SF6, C2F6, 20%F2/N2, CO2, HCl, HF, etc.

成膜氣體

NH3, N2O, SiF4, H2Se, etc.

高純度化學品 (High purity chemicals)

高純度化學品

用途:

彩色濾光鏡清洗,電子靶材清洗广东十一选五走势图,電子部品清洗等

產品列表:

SC-9500,SC-9500R
環己酮
有機去蠟劑,航空煤油
高純度溶液(MMP,NMP,PGMEA,PGME etc.)

除害設備(Local scrubber)

除害設備

酸性氣體處理裝置-Z型(干式)

處理氣體: HCl,Cl2,HF,F2,HBr,SiCl4,SiF4,etc.

PFC氣體處理裝置-PF型(干式)

處理氣體: PFC類 [ CF4,C2F6,C5F8等 ]
                   HFC類 [ CHF3,CH2F2等 ],SF6,HF,CO,etc.

PFC氣體處理裝置-CD型(催化水洗式)

處理氣體: PFC類 [ CF4,C2F6,C5F8等 ]
                   HFC類 [ CHF3,CH2F2等 ],SF6,HF,CO,etc.